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宏宇環境

HONGYU ENVIROMENT

20年專注場地調查與土壤修復，環境咨詢

一站式環保服務商

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??根據《建設項目竣工環境保護驗收管理辦法》、《關于規范建設單位自主開展建設項目竣工環境保護驗收的通知（征求意見稿）》、《建設項目竣工環境保護驗收技術指南污染影響類》等有關規定，建設單位于2024年09月06日組織驗收組踏勘了建設項目現場，對驗收監測報告進行了審查，提出了驗收意見。為更好地做好本項目的環境保護工作，現對該項目竣工環境保護驗收報告及驗收意見進行公示。

一、項目簡介

蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司（以下簡稱公司）成立于2018年3月，由蘇州長光華芯光電技術有限公司（以下簡稱長光華芯光電公司）與蘇州高新區政府共同創立，位于蘇州高新區科技城漓江路56號，主要進行半導體光電器件及系統的開發研究及生產，包括薄膜外延生長、芯片加工、光電器件制作、光學模塊、光電系統集成。

半導體激光器是本項目產品之一，又稱激光二極管，是用半導體材料作為工作物質的激光器。它體積小、壽命長，在激光通信、光存儲、光陀螺、激光打印、測距以及雷達等方面已經獲得了廣泛的應用。其工作原理是通過一定的激勵方式，在半導體物質的能帶（導帶與價帶）之間，或者半導體物質的能帶與雜質（受主或施主）能級之間，實現非平衡載流子的粒子數反轉，當處于粒子數反轉狀態的大量電子與空穴復合時便產生受激發射作用。高能激光發展的核心之一是半導體激光器，2017年半導體激光器中國市場收入較2016年增長15.5%，達到21.9億美元。中國作為全球最大制造國，我國芯片主要依賴國外進口，特別是在高速光通訊、3D傳感等蓬勃發展的領域中。作為全球最大的消費市場，我國對于芯片產業有各種不同的需求，對于低端芯片需求量也非常大，芯片的進口嚴重阻礙了我國的高新技術產業的發展。在當下科技競爭的背景下，發展芯片產業具有一定的緊迫性，過程會很曲折，但是只有將核“芯”技術掌握在自己手中才是硬道理。為了解決我國高功率半導體激光器芯片及器件的“空心化”問題，公司利用蘇州長光華芯光電技術有限公司已有的高功率半導體激光芯片優勢，積極向激光3D傳感芯片，高速光通信芯片、激光照明等方向與領域拓展，全面打造中國激光芯。因此，蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司投資20000萬元建設年產芯片3億件、光電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電系統1000臺項目。

環評審批過程：本項目投資20000萬元進行年產芯片3億件、光電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電系統1000臺項目建設。項目已通過蘇州高新區經濟發展和改革局備案，項目代碼為2018-320505-39-03-550372。2019年11月，企業委托蘇州市宏宇環境科技股份有限公司編制了《蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司年產芯片3億件、光電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電系統1000臺項目環境影響報告表》，并于2020年2月4日取得蘇州市行政審批局的審批意見（蘇行審環評[2020]90054號）。

驗收工作的開展：2024年7月17日-18日、8月7日-8日和8月26日-27日，公司委托蘇州環優檢測有限公司及江蘇德昊檢測技術服務有限公司對“蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司年產芯片3億件、光電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電系統1000臺項目”進行驗收監測，根據驗收監測結果及現場情況進行自主驗收，由蘇州市宏宇環境科技股份有限公司編制驗收調查報告。

變動情況：對照環評，本項目驗收氮氣柜數量較環評增加6臺，光刻、濕法刻蝕工段各式測試儀數量較環評增加7臺，以上均為輔助設備：此外，在生產工藝無變化的前提下，襯底原料用5kg氮化鎵替代砷化鎵，濕法刻蝕工段使用環評未涉及的氫氧化銨；

環評中外延工序產生少量未反應氣體（磷烷、砷烷、硅烷、氨氣）和反應生成氣體（甲烷、顆粒物）通過設備配套過濾器處理后，經管道輸送至洗滌塔一級處理（其中氨氣為堿性，單獨進入氨氣洗滌塔），再進入堿液噴淋塔二級處理，最后經2#生產樓屋頂的25米排氣筒P1排放；

項目實際從安全角度考慮，2臺以氮化鎵襯底原料、氨氣為反應氣體的外延工序廢氣經水噴淋預處理，和酸性廢氣以及設備自帶過濾器-燃燒器預處理的外延工段少量未反應完的硅烷氣體（磷烷、砷烷、硅烷、氨氣）和反應生成氣體（甲烷、顆粒物）一同匯入堿液噴淋塔裝置處理，尾氣由2#生產樓屋頂的25米排氣筒P1排放；其余16臺化學氣相外延MOCVD設備中每4臺設備對應一套二級加藥噴淋裝置（加入次氯酸鈉、氫氧化鈉、磷酸藥劑）（共設置5套，4用1備）處理后通過4根25米高排氣筒排放（P3、P4、P5、P6，此外P7為備用處理設施對應排氣筒），且設置砷烷、磷烷排放在線監控報警系統；使用砷烷、磷烷的外延廢氣經管道輸送至洗滌塔和二級加藥噴淋裝置處理，尾氣由2#生產樓屋頂的25米排氣筒P3、P4、P5、P6排放；

此外，項目實際對危廢中代碼有誤（有機廢液）、代碼變更（廢氣處理失效活性炭）、產生量有偏差（刻蝕廢液）、定義有誤（光催化UV燈管）、遺漏（氫氧化銨廢堿液）等問題一并進行變動修正。

公司于2023年12月委托蘇州市宏宇環境科技股份有限公司編制《蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司年產芯片3億件、光電器件100萬件、光學模塊5萬件、光電系統1000臺項目一般變動環境影響分析報告》，并對廢氣處理設施的變更進行了專家評審，對照《污染物影響類建設項目重大變動清單（試行）》（環辦環評函〔2020〕688號），明確以上不屬于重大變動，納入驗收范圍。

（1）廢水

公司廠區雨污水分流，項目生產廢水主要為一般酸堿廢水、含砷廢水、含砷拋光廢水、含砷研磨廢水、含氟廢水、含氮磷廢水、有機廢水、公輔廢水以及生活污水，其中：

一般酸堿廢水經中和預處理后，同公輔廢水（制純濃水、冷卻排水）、食堂廢水（經隔油預處理）和生活污水一并通過市政管網接入科技城水質凈化廠統一處理，尾水排入滸東運河；

含氟廢水（包括堿液噴淋廢水）經化學沉淀-砂濾-樹脂交換預處理；有機廢水和含氮廢水經高級氧化-生物反應槽預處理；含砷研磨廢水經超濾和砂濾預處理后與經超濾和RO處理后的含砷拋光廢水一并進入化學沉淀預處理；其他含砷廢水和含氮磷廢水經化學沉淀預處理；以上預處理后的廢水合并進入三效蒸發系統處理，出水經RO后回用生產系統（純水制備），無外排；濃水委外處理；

公司設置900m3的消防尾水池（事故應急水池），并在兩個雨水排口設置應急截止閥門。

（2）廢氣

本項目硅烷外延尾氣經過濾+燃燒器+堿液噴淋塔預處理；酸洗、刻蝕等工段酸性廢氣由2套并聯堿液噴淋塔預處理；氧化尾氣由設備密閉收集后進入設備自帶過濾器+燃燒器預處理，以上預處理后的廢氣合并由25m高的P1排氣筒排放；

有機廢氣集氣罩收集后，經2套光催化氧化+活性炭吸附裝置處理（1用1備），尾氣由25m高的P2排氣筒排放；

砷烷、磷烷使用工序產生的廢氣由設備密閉收集，經五套（四用一備）過濾+二級加藥噴淋裝置處理后，分別通過25m高的P3、P4、P5、P6、P7（備用）排氣筒達標排放；

以上環節未收集到的廢氣車間無組織外排。封裝、回流工段產生的焊接煙塵采用集氣罩收集后經焊煙凈化器處理后無組織排放，產生量較少，忽略不計。

項目以廠界邊界為起點設置100米衛生防護距離，目前以上范圍內無居民等環境敏感點。

此外，項目設置3個25m排氣筒用于車間內強排風及熱排風；食堂油煙經油煙凈化器處理后屋頂外排。

（3）噪聲

本項目噪聲主要為各類研磨、焊接、切割、打磨等設備和空壓機、廢氣處理風機等運行產生的噪聲，企業通過隔聲、減振和距離衰減等措施，噪聲可以得到一定程度的削弱，減小對周圍的環境影響。

（4）固體廢棄物

本項目產生的固體廢物主要為危險固廢、一般工業固廢、生活垃圾。其中：

危險廢物中的廢去光膠劑、廢去光膠劑、廢顯影液、酸洗廢液、有機廢液委托蘇州新區環保服務中心有限公司處置；廢燈管、刻蝕廢液委托蘇州步陽環?？萍加邢薰咎幹?；刻蝕槽清洗廢液、碳化涂層、廢濾芯、晶圓邊角料、無塵布、危險廢物包裝、廢活性炭、含氟污泥、含砷污泥、廢鹽渣、廢濾膜、廢反滲透膜、廢堿液、在線監測廢液委托蘇州新區環保服務中心有限公司處置；

項目設置面積30m2的危廢倉庫，位于廠區東南角，建設符合《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2023）的要求。

一般工業固廢主要為廢金屬靶材、殘余鍍料、殘余鍍料、不合格品、一般廢包裝，收集后定期委托州鑫雨豐環?？萍加邢薰揪C合利用。

項目設置面積100m²的一般固廢倉庫，位于廠區東北角，一般工業固體廢物貯存基本滿足《一般工業固體廢物貯存和填埋標準》（GB 18599-2020）。

項目生活垃圾、餐廚垃圾由蘇州鑫雨豐環?？萍加邢薰臼占膺\處理，日產日清。

二、建設單位名稱和聯系方式

建設單位：蘇州長光華芯半導體激光創新研究院有限公司

建設地點：蘇州高新區科技城漓江路56號

聯系人：韋工

聯系電話：17312540120

郵編：215299

三、征求公眾意見的主要事項

（1）請公眾提供個人準確信息主要包括：姓名、職業、文化程度、家庭住址及聯系電話；